GaAs/Si低温直接键合技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘雨生 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2017-05-27 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王晓东 |
| 关键词 | GaAs/Si 直接键合 低温 等离子体活化 |
| 学位专业 | 集成电路工程 |
| 学科主题 | 半导体材料 ; 半导体器件 |
| 公开日期 | 2017-06-01 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28173]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘雨生. GaAs/Si低温直接键合技术研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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