电容式微加工超声传感器关键技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王小青 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2017-05-29 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 俞育德 |
| 关键词 | 电容式微加工超声传感器 COMSOL仿真 低温硅片直接键合 粗糙度 接触角 |
| 学位专业 | 物理电子学 |
| 公开日期 | 2017-06-02 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28190]  |
| 专题 | 半导体研究所_光电子研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王小青. 电容式微加工超声传感器关键技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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