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Si基GeSn合金的外延生长及光电器件的制备

文献类型:学位论文

作者丛慧
学位类别博士
答辩日期2017-05-31
授予单位中国科学院研究生院
授予地点北京
导师王启明 院士
关键词硅基光电子学 GeSn合金 短波红外探测器 石墨烯
学位专业微电子学与固体电子学
学科主题半导体物理 ; 半导体材料 ; 半导体器件 ; 光电子学
公开日期2017-06-05
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28242]  
专题半导体研究所_光电子研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
丛慧. Si基GeSn合金的外延生长及光电器件的制备[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2017.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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