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石英玻璃表面金属沉积层的界面研究

文献类型:期刊论文

作者崔新强 ; 蒋宝财 ; 郭向朝
刊名材料保护
出版日期2008
卷号41期号:9页码:5
关键词高温金属封接 金属化 石英玻璃 界面 脉冲氙灯
ISSN号1001-1560
中文摘要就石英玻璃的金属化进行了初步研究,综合考虑石英玻璃管和金属的特点,合理选择金属化膜层;采用磁控溅射工艺在石英玻璃表面镀制薄膜,利用俄歇电子能谱(AES)进行了界面分析。发现膜层在沉积过程中有轻微的扩散和界面还原反应现象,后期的热处理使这种现象变得更加显著。600℃时界面扩散变得明显,Ni膜中Mo的含量达到了20%;800℃时界面扩散已经很严重,表层Ni膜渗过Mo膜进入到Ti层。因此在后期处理时,温度应控制在700℃左右。对样品灯进行了检验,加速寿命及灯头耐压检验结果均通过初步考核。
分类号TG174.444
语种中文
公开日期2009-09-24 ; 2010-10-12
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5307]  
专题上海光学精密机械研究所_高功率激光单元技术研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
崔新强,蒋宝财,郭向朝. 石英玻璃表面金属沉积层的界面研究[J]. 材料保护,2008,41(9):5, 7.
APA 崔新强,蒋宝财,&郭向朝.(2008).石英玻璃表面金属沉积层的界面研究.材料保护,41(9),5.
MLA 崔新强,et al."石英玻璃表面金属沉积层的界面研究".材料保护 41.9(2008):5.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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