积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 郭立萍 ; 黄惠杰 ; 王向朝 |
| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 35期号:7页码:981 |
| 关键词 | 光刻 照明均匀性 非序列光学元件 积分棒 |
| ISSN号 | 1004-4213 |
| 其他题名 | Study of integrator rod in step-and-scan lithography |
| 中文摘要 | 从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理，介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用,分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝面上光强分布的影响，得到了积分棒尺寸与刀口狭缝面上照明视场的关系，为步进扫描投影光刻系统中积分棒的设计提供了依据。 |
| 分类号 | TN305.7 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6243]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_精密光电测控研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭立萍,黄惠杰,王向朝. 积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用, Study of integrator rod in step-and-scan lithography[J]. 光子学报,2006,35(7):981, 985. |
| APA | 郭立萍,黄惠杰,&王向朝.(2006).积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用.光子学报,35(7),981. |
| MLA | 郭立萍,et al."积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用".光子学报 35.7(2006):981. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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