表面处理对蓝宝石衬底的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王银珍 ; 彭观良 ; 刘世良 ; 李抒智 ; 邹军 ; 周圣明 ; 徐军 |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 34期号:3页码:431 |
| 关键词 | 蓝宝石 衬底 表面处理 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| 其他题名 | Influence of surface treatment on the sapphire substrate |
| 中文摘要 | 蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料，是生长GaN、Zno材料最常用的衬底。本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶衍射对蓝宝石衬底进行了分析测试，系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响。结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好。 |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 分类号 | O78 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5495]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王银珍,彭观良,刘世良,等. 表面处理对蓝宝石衬底的影响[J]. 人工晶体学报,2005,34(3):431, 434. |
| APA | 王银珍.,彭观良.,刘世良.,李抒智.,邹军.,...&徐军.(2005).表面处理对蓝宝石衬底的影响.人工晶体学报,34(3),431. |
| MLA | 王银珍,et al."表面处理对蓝宝石衬底的影响".人工晶体学报 34.3(2005):431. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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