气相传输平衡法在（11-20）面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 刘世良 ; 周圣明 ; 李抒智 ; 王银珍 ; 徐军 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 26期号:5页码:773 |
| 关键词 | 薄膜光学 复合衬底 气相传输平衡 γ铝酸锂 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 其他题名 | Preparation of γ -LiAlO2 layer on (11-20)sapphire by vapor transport equilibration |
| 中文摘要 | 为了寻找可能替代蓝宝石作为氮化镓外延的新型衬底，通过48h的气相传输平衡，分别在1000℃、1030℃、1050℃、1070℃和1100℃制备了一层单相多晶的γ铝酸锂膜。X射线衍射和扫描电镜分别用于表征膜的物相、取向和表面形貌。结果显示，γ铝酸锂择优取向的好坏取决于气相平衡传输温度，在1050℃制备的γ铝酸锂具有高度的[100]择优取向；在γ铝酸锂（001）面上的双轴拉应力可能有助于[100]择优取向的形成；γ铝酸锂晶粒表面裂纹的方向一致性与其择优取向紧密相关。上述结果表明在合适的工艺条件下，气相传输平衡 |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 分类号 | O793 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5663]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘世良,周圣明,李抒智,等. 气相传输平衡法在（11-20）面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜, Preparation of γ -LiAlO2 layer on (11-20)sapphire by vapor transport equilibration[J]. 光学学报,2006,26(5):773, 776. |
| APA | 刘世良,周圣明,李抒智,王银珍,&徐军.(2006).气相传输平衡法在（11-20）面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜.光学学报,26(5),773. |
| MLA | 刘世良,et al."气相传输平衡法在（11-20）面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜".光学学报 26.5(2006):773. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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