蓝宝石晶片表面净化技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 周海 ; 杭寅 ; 姚绍峰 |
| 刊名 | 电子机械工程
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 21期号:6页码:42 |
| 关键词 | 蓝宝石晶片 净化工艺 清洗剂 |
| ISSN号 | 1008-5300 |
| 中文摘要 | 阐述了在氮化镓生长中使用的蓝宝石晶片净化的重要性。论述了蓝宝石晶片的净化原理。通过净化试验研究，提出了适合于工业化生产的蓝宝石晶片清洗剂和净化工艺，满足了光电子领域所需的开盒即用的蓝宝石晶片表面质量要求。 |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 分类号 | TH161;TN205 |
| 收录类别 | 0 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5793]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周海,杭寅,姚绍峰. 蓝宝石晶片表面净化技术研究[J]. 电子机械工程,2005,21(6):42, 45. |
| APA | 周海,杭寅,&姚绍峰.(2005).蓝宝石晶片表面净化技术研究.电子机械工程,21(6),42. |
| MLA | 周海,et al."蓝宝石晶片表面净化技术研究".电子机械工程 21.6(2005):42. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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