VTE法制备γ-LiAlO2／α-Al2O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 刘世良 ; 李抒智 ; 周圣明 ; 王银珍 ; 彭观良 ; 徐军 |
| 刊名 | 人工晶体学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 34期号:2页码:250 |
| 关键词 | VTE法 γ-LiAlO2／α-Al2O3 腐蚀现象 制备方法 退火 气相传输平衡 GaN 氮化镓晶体 热导率 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| 其他题名 | VTE Preparation of Compound Substrates of γ-LiAlO2/α-Al2O3 and Influence of Erosion and Annealing |
| 中文摘要 | 通过气相传输平衡法(VTE)制备了γ-LiAlO2／α-Al2O3复合衬底，使用5％的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h。利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析，发现在白宝石α面(11-20)和γ面(1—102)均获得单相多晶的γ-LiAlO2，且后者的择优取向好于前者。腐蚀可以提高样品的择优取向，在5％的稀盐酸中，时间控制在2min左右可获得较好的结果。退火后γ-LiAlO2颗粒质量得到改善，白宝石α面上γ-LiAlO2的质量优于r面上的γ-LiAlO2，两者都出现颗粒长大现象。 |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 分类号 | O78;O793 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5871]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘世良,李抒智,周圣明,等. VTE法制备γ-LiAlO2／α-Al2O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响, VTE Preparation of Compound Substrates of γ-LiAlO2/α-Al2O3 and Influence of Erosion and Annealing[J]. 人工晶体学报,2005,34(2):250, 254. |
| APA | 刘世良,李抒智,周圣明,王银珍,彭观良,&徐军.(2005).VTE法制备γ-LiAlO2／α-Al2O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响.人工晶体学报,34(2),250. |
| MLA | 刘世良,et al."VTE法制备γ-LiAlO2／α-Al2O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响".人工晶体学报 34.2(2005):250. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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