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c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)

文献类型:期刊论文

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作者彭观良 ; 李抒智 ; 庄漪 ; 邹军 ; 王银珍 ; 刘世良 ; 周国清 ; 周圣明 ; 徐军 ; 干福熹
刊名人工晶体学报
出版日期2005
卷号34期号:5页码:833
关键词白宝石 γ-LiAlO2 气相传输平衡 GaN 衬底
ISSN号1000-985X
其他题名Effect of surface morphology of c -plane sapphire substrate on quality of γ-LiAlO2 layer fabricated by vapor transport equilibration technique
中文摘要采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层。研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素。要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的。对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差。并对其中可能的机理进行了探讨。
学科主题光学材料;晶体
分类号O771
收录类别ei
语种英语
公开日期2009-09-24 ; 2010-10-12
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5889]  
专题上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
彭观良,李抒智,庄漪,等. c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文), Effect of surface morphology of c -plane sapphire substrate on quality of γ-LiAlO2 layer fabricated by vapor transport equilibration technique[J]. 人工晶体学报,2005,34(5):833, 837.
APA 彭观良.,李抒智.,庄漪.,邹军.,王银珍.,...&干福熹.(2005).c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文).人工晶体学报,34(5),833.
MLA 彭观良,et al."c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)".人工晶体学报 34.5(2005):833.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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