c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)
文献类型:期刊论文
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作者 | 彭观良 ; 李抒智 ; 庄漪 ; 邹军 ; 王银珍 ; 刘世良 ; 周国清 ; 周圣明 ; 徐军 ; 干福熹 |
刊名 | 人工晶体学报
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出版日期 | 2005 |
卷号 | 34期号:5页码:833 |
关键词 | 白宝石 γ-LiAlO2 气相传输平衡 GaN 衬底 |
ISSN号 | 1000-985X |
其他题名 | Effect of surface morphology of c -plane sapphire substrate on quality of γ-LiAlO2 layer fabricated by vapor transport equilibration technique |
中文摘要 | 采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层。研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素。要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的。对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差。并对其中可能的机理进行了探讨。 |
学科主题 | 光学材料;晶体 |
分类号 | O771 |
收录类别 | ei |
语种 | 英语 |
公开日期 | 2009-09-24 ; 2010-10-12 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5889] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭观良,李抒智,庄漪,等. c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文), Effect of surface morphology of c -plane sapphire substrate on quality of γ-LiAlO2 layer fabricated by vapor transport equilibration technique[J]. 人工晶体学报,2005,34(5):833, 837. |
APA | 彭观良.,李抒智.,庄漪.,邹军.,王银珍.,...&干福熹.(2005).c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文).人工晶体学报,34(5),833. |
MLA | 彭观良,et al."c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)".人工晶体学报 34.5(2005):833. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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