Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性
文献类型:期刊论文
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作者 | 汪洪 ; 苏凤莲 ; 宋学平 ; 刘艳美 ; 李爱侠 ; 周圣明 ; 孙兆奇 |
刊名 | 人工晶体学报
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出版日期 | 2006 |
卷号 | 35期号:2页码:302 |
关键词 | ZnO薄膜 脉冲激光沉积 X射线衍射 光致发光谱 |
ISSN号 | 1000-985X |
其他题名 | Structural and Optical Properties of ZnO Films on Al2O3 Substrates |
中文摘要 | 用脉冲激光沉积法在Al2O3(0001)衬底上沉积了ZnO薄膜。衬底温度分别为300℃、400℃、500℃、600℃和700℃。利用X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构和光学性能进行研究。X射线衍射的结果表明在不同温度下生长的ZnO薄膜均具有高度c轴择优取向,衬底温度400℃时,膜的应力较小质量较高。ZnO薄膜有很强的紫外发光峰,紫外发光峰的强度与衬底温度密切相关,并发现当衬底温度从300℃增到400℃时,紫外发射峰出现6nm的蓝移。 |
学科主题 | 光学材料;晶体 |
分类号 | O484 |
收录类别 | ei |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2009-09-24 ; 2010-10-12 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5903] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪洪,苏凤莲,宋学平,等. Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性, Structural and Optical Properties of ZnO Films on Al2O3 Substrates[J]. 人工晶体学报,2006,35(2):302, 305. |
APA | 汪洪.,苏凤莲.,宋学平.,刘艳美.,李爱侠.,...&孙兆奇.(2006).Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性.人工晶体学报,35(2),302. |
MLA | 汪洪,et al."Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性".人工晶体学报 35.2(2006):302. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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