退火对Si（111）衬底上ZnO薄膜的结构和发光特性的影响
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 汪洪 ; 苏凤莲 ; 周圣明 ; 宋学平 ; 刘艳美 ; 李爱侠 ; 尹平 ; 孙兆奇 |
| 刊名 | 人工晶体学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 35期号:3页码:660 |
| 关键词 | ZnO薄膜 磁控溅射 X射线衍射 光致发光 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| 其他题名 | Effects of Annealing on the Structure and Photoluminescence of ZnO Thin Films Grown on Silicon Substrate |
| 中文摘要 | 采用磁控溅射法在硅（111）衬底上制备了C轴高度取向的ZnO薄膜，并研究了退火温度和氧气气氛对ZnO薄膜晶体质量、晶粒度大小和光致发光谱的影响。X射线衍射表明，所有薄膜均为高度C轴择优取向，当退火温度低于900℃时，随着退火温度的升高，薄膜的取向性和结晶度都明显提高。室温下对ZnO薄膜进行了光谱分析，退火后的样品均可观测到明显的紫光发射。在一定的退火温度范围内，还可以观测到明显的紫外双峰。空气中退火的样品，当退火温度达到或高于600℃还可观测到绿光发射。实验结果表明，发光峰强度随退火温度和氧气气氛不同而不 |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 分类号 | O484 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5907]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪洪,苏凤莲,周圣明,等. 退火对Si（111）衬底上ZnO薄膜的结构和发光特性的影响, Effects of Annealing on the Structure and Photoluminescence of ZnO Thin Films Grown on Silicon Substrate[J]. 人工晶体学报,2006,35(3):660, 665. |
| APA | 汪洪.,苏凤莲.,周圣明.,宋学平.,刘艳美.,...&孙兆奇.(2006).退火对Si（111）衬底上ZnO薄膜的结构和发光特性的影响.人工晶体学报,35(3),660. |
| MLA | 汪洪,et al."退火对Si（111）衬底上ZnO薄膜的结构和发光特性的影响".人工晶体学报 35.3(2006):660. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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