LiAlO2衬底上ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备和表征
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 林辉 ; 宋涛 ; 周健星 ; 黄涛华 ; 夏国栋 ; 邹军 ; 董亚明 ; 王军 ; 周圣明 |
| 刊名 | 人工晶体学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 36期号:4页码:869 |
| 关键词 | 溶胶-凝胶法 LiAlO2 ZnO XRD SEM |
| 其他题名 | Characterization of ZnO thin films synthesized on LiAlO2 substrates by sol-gel method |
| 中文摘要 | 采用溶胶凝胶法在LiAlO2（302）衬底上制备了ZnO薄膜。用X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）对样品的结构和形貌进行了表征。XRD结果表明,随着热处理温度的升高（350℃、450℃、550℃、600℃、800℃）,所得到的薄膜分别为单相ZnAl2O4（350℃）,ZnAl2O4和ZnO的混合相（450℃）以及单相的ZnO（550℃、600℃、800℃）,并且ZnO薄膜C轴择优取向的生长趋势随温度升高相应明显。SEM图像显示,随着热处理温度的升高,ZnO薄膜的粒径相应变大。; In this paper, ZnO thin film was deposited on LiA1O2 (302) substrates by Sol-gel method. X-ray diffraction (XRD) shows that by enhancing the post-processing temperature (350°C, 450°C, 550°C, 600°C, 800°C), we have obtained single ZnAl2O4 phase (350°C), mixed phase of ZnAl2O4 and ZnO (450°C), as well as single phase ZnO(550°C, 600°C, 800°C), respectively. It also can be seen that the c-axis growth tendency also became stronger under higher temperatures. SEM images show that the sizes of the polycrystalline ZnO thin film particles become larger with the enhanced post-processing temperature.} |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 分类号 | O484 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6015]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林辉,宋涛,周健星,等. LiAlO2衬底上ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备和表征, Characterization of ZnO thin films synthesized on LiAlO2 substrates by sol-gel method[J]. 人工晶体学报,2007,36(4):869, 873. |
| APA | 林辉.,宋涛.,周健星.,黄涛华.,夏国栋.,...&周圣明.(2007).LiAlO2衬底上ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备和表征.人工晶体学报,36(4),869. |
| MLA | 林辉,et al."LiAlO2衬底上ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备和表征".人工晶体学报 36.4(2007):869. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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