化学抛光和退火对钛酸锶基片表面改性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈光珠 ; 杭寅 ; 汪隽等 |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 37期号:5页码:1107 |
| 关键词 | Atomic forces
Crystal qualities
Mechanical methods
Rocking curves
SrTiO |
| ISSN号 | 1000-985X |
| 其他题名 | Study on the influence of CMP and anneal to SrTiO |
| 中文摘要 | Atomic force microscopy (AFM) was applied to study the surface morphology of SrTiO |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6057]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈光珠,杭寅,汪隽等. 化学抛光和退火对钛酸锶基片表面改性研究[J]. 人工晶体学报,2008,37(5):1107, 1112. |
| APA | 陈光珠,杭寅,&汪隽等.(2008).化学抛光和退火对钛酸锶基片表面改性研究.人工晶体学报,37(5),1107. |
| MLA | 陈光珠,et al."化学抛光和退火对钛酸锶基片表面改性研究".人工晶体学报 37.5(2008):1107. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。