非晶硅薄膜制备及其晶化特性研究
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 罗士雨 ; 冯磊 ; 汪洪 ; 林辉 ; 滕浩 ; 黄涛华 ; 周圣明 |
| 刊名 | 人工晶体学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 37期号:5页码:1191 |
| 关键词 | 磁控溅射 Amorphous silicon films 非晶硅 Annealing temperatures 多晶硅 Before and after Crystallization properties K9 glasses Low temperatures Polycrystalline silicon Raman spectrums Scattering peaks Si films |
| ISSN号 | 1000-985X |
| 其他题名 | Study on the preparation of amorphous silicon film and its crystallization property |
| 中文摘要 | 用磁控溅射法在K9玻璃上沉积了非晶硅（a—Si）膜和a—Si／Al膜，并将其在流动的N2气氛下进行退火。对退火前后的样品进行Raman光谱、XRD和SEM表征和分析。Raman光谱表明随着退火温度的升高，a-Si膜的散射峰出现了明显的蓝移，但XRD结果表明薄膜仍为非晶态；而a—Si／Al膜在温度很低时就已经开始晶化。; a-Si and a-Si/Al films on K9 glasses were prepared by magnetron sputtering. The films were annealed at flowing N |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 分类号 | O78 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6061]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗士雨,冯磊,汪洪,等. 非晶硅薄膜制备及其晶化特性研究, Study on the preparation of amorphous silicon film and its crystallization property[J]. 人工晶体学报,2008,37(5):1191, 1194. |
| APA | 罗士雨.,冯磊.,汪洪.,林辉.,滕浩.,...&周圣明.(2008).非晶硅薄膜制备及其晶化特性研究.人工晶体学报,37(5),1191. |
| MLA | 罗士雨,et al."非晶硅薄膜制备及其晶化特性研究".人工晶体学报 37.5(2008):1191. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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