基于光栅传感器的位移测量仪的研制
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 江晓军 ; 黄惠杰 ; 王向朝 |
| 刊名 | 电子测量技术
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 31期号:7页码:147 |
| 关键词 | 位移测量 光栅传感器 测量精度 |
| ISSN号 | 1002-7300 |
| 其他题名 | Grating sensors based on displacement measurement instrument |
| 中文摘要 | 本文介绍一种基于光栅传感器的位移测量仪。它通过硬件电路对2个光栅传感器输出的信号分别进行20细分,然后对细分后的信号分别进行辨向和计数,再使用一个微处理器对辨向信号和计数信号进行处理,得到X-Y工作台在坐标X和坐标Y方向的位移值,最后根据误差修正算法对位移测量值进行修正,得到该仪器的测量分辨率为1μm且测量精度达±2μm（1σ）。此外,所研制的测量仪具有可靠、易于扩展和调试方便的特点。 |
| 学科主题 | 光学材料;晶体 |
| 分类号 | TH822 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-24 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6067]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 江晓军,黄惠杰,王向朝. 基于光栅传感器的位移测量仪的研制, Grating sensors based on displacement measurement instrument[J]. 电子测量技术,2008,31(7):147. |
| APA | 江晓军,黄惠杰,&王向朝.(2008).基于光栅传感器的位移测量仪的研制.电子测量技术,31(7),147. |
| MLA | 江晓军,et al."基于光栅传感器的位移测量仪的研制".电子测量技术 31.7(2008):147. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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