LiGaO_2衬底上ZnO外延膜的结构与光学特性
文献类型:期刊论文
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作者 | 黄涛华 ; 周圣明 ; 滕浩 ; 林辉 ; 王军 |
刊名 | 光学学报
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出版日期 | 2008 |
卷号 | 28期号:7页码:1420 |
关键词 | 薄膜光学
LiGaO |
ISSN号 | 0253-2239 |
其他题名 | Structural and optical characteristics of ZnO films on LiGaO |
中文摘要 | 采用磁控溅射法在(001)、(100)及(010)LiGaO2衬底上制备了ZnO薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、透过光谱以及光致发光谱(PL)对薄膜的结构、形貌及光学性质进行了表征。结果表明LiGaO2衬底不同晶面上制备的ZnO薄膜具有不同的择优取向,在(001)(、100)及(010)LiGaO2上分别获得了[0001][、1100]及[1120]取向的ZnO薄膜;不同取向的ZnO薄膜表面形貌差异较大;薄膜在可见光波段具有较高的透过率;在ZnO薄膜的光致发光谱中只观察到了位于378 nm的紫外发射峰,而深能级发射几乎观察不到,(1100)取向的薄膜紫外发射峰强度最大,半高宽也最小,薄膜光致发光性质的差异主要和晶粒尺寸有关。; ZnO films were fabricated on LiGaO |
学科主题 | 光学材料;晶体 |
收录类别 | EI |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2009-09-24 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6069] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 |
黄涛华,周圣明,滕浩,等. LiGaO_2衬底上ZnO外延膜的结构与光学特性, Structural and optical characteristics of ZnO films on LiGaO |
APA | 黄涛华,周圣明,滕浩,林辉,&王军.(2008).LiGaO_2衬底上ZnO外延膜的结构与光学特性.光学学报,28(7),1420. |
MLA | 黄涛华,et al."LiGaO_2衬底上ZnO外延膜的结构与光学特性".光学学报 28.7(2008):1420. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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