多层介质膜光栅和介质膜反射镜抗激光损伤阈值研究
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 孔伟金 ; 刘世杰 ; 沈自才 ; 沈健 ; 邵建达 ; 范正修 |
| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 33期号:4页码:552 |
| 关键词 | 薄膜 介质膜光栅 激光损伤阈值 电场分布 扫描电镜 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 其他题名 | Laser induced damage thresholds of multi-layer dielectric gratings and multi-layer dielectric mirrors |
| 中文摘要 | 对多层介质膜光栅以及介质膜反射镜的激光损伤阈值进行了系统的研究。测试方法采用国际测试标准。测试结果表明，介质光栅的损伤阈值远低于未刻蚀的多层介质膜。对样品损伤形貌的扫描电镜照片分析发现，相比于未刻蚀的多层介质膜，介质膜光栅的初始损伤主要发生在光栅槽形的侧壁，且损伤主要是由驻波场的空间分布引起的本征吸收、制备过程中引入的杂质污染以及刻蚀过程中HfO2的化学计量机失衡引起的。 |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 分类号 | O484.41 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4300]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孔伟金,刘世杰,沈自才,等. 多层介质膜光栅和介质膜反射镜抗激光损伤阈值研究, Laser induced damage thresholds of multi-layer dielectric gratings and multi-layer dielectric mirrors[J]. 中国激光,2006,33(4):552, 556. |
| APA | 孔伟金,刘世杰,沈自才,沈健,邵建达,&范正修.(2006).多层介质膜光栅和介质膜反射镜抗激光损伤阈值研究.中国激光,33(4),552. |
| MLA | 孔伟金,et al."多层介质膜光栅和介质膜反射镜抗激光损伤阈值研究".中国激光 33.4(2006):552. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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