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离子束辅助技术获得高激光损伤阈值的增透膜

文献类型:期刊论文

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作者王聪娟 ; 晋云霞 ; 王英剑 ; 邵建达 ; 范正修
刊名中国激光
出版日期2006
卷号33期号:5页码:683
关键词薄膜 离子辅助沉积 弱吸收 激光损伤阈值
ISSN号0258-7025
其他题名High laser-induced damage threshold antireflection coatings of 1053 nm deposited by ion assisted deposition
中文摘要采用合适的离子束辅助沉积(IBAD)参数在K9基底上镀制了高激光损伤阈值的中心波长1053nm的增透膜,分别从光谱性能、吸收性能、抗激光损伤阈值(LIDT)以及退火后的影响等方面与未进行离子束辅助沉积的薄膜进行对比分析。实验结果发现,采用离子辅助制备的薄膜放置80d后具有更好的光谱稳定性,与未进行离子束辅助镀制的薄膜相比,平均吸收下降了57%,吸收值偏高的奇异点明显减少;损伤阈值提高了60%,用Leica偏振光学显微镜观察50%损伤几率的能量下破斑形貌,发现经过离子束辅助制备的样品破斑形状整齐且缺陷点少;
学科主题光学薄膜
分类号O484
收录类别ei
语种中文
公开日期2009-09-22
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4320]  
专题上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
王聪娟,晋云霞,王英剑,等. 离子束辅助技术获得高激光损伤阈值的增透膜, High laser-induced damage threshold antireflection coatings of 1053 nm deposited by ion assisted deposition[J]. 中国激光,2006,33(5):683, 686.
APA 王聪娟,晋云霞,王英剑,邵建达,&范正修.(2006).离子束辅助技术获得高激光损伤阈值的增透膜.中国激光,33(5),683.
MLA 王聪娟,et al."离子束辅助技术获得高激光损伤阈值的增透膜".中国激光 33.5(2006):683.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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