膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱美萍 ; 易葵 ; 郭世海 ; 范正修 ; 邵建达 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 26期号:7页码:1107 |
| 关键词 | 薄膜光学 膜厚监控 误差分析 不均匀性 规整膜系 非规整膜系 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 其他题名 | Effect of thickness monitoring error and inhomogeneity of witness glass on film thickness monitoring |
| 中文摘要 | 借助于VC＋＋编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响。结果表明，膜厚监控误差和监控片的不均匀性都对监控曲线有影响；随着膜层层数的增加，监控片不均匀性逐渐增大。实验制备了多层规整薄膜并对其监控曲线进行了分析，分析表明考虑到膜厚监控误差和监控片不均匀性后计算的光学监控曲线和镀膜过程实测光学监控曲线吻合较好。这说明膜厚监控误差和监控片不均匀性是引起监控曲线与理论值偏离的重要因素。介绍了如何计算考虑膜厚监控误差和监控片不均匀性后的理论监控曲线。这将对膜厚自动监控，尤其是对非规整膜 |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 分类号 | O484 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4326]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱美萍,易葵,郭世海,等. 膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响[J]. 光学学报,2006,26(7):1107, 1111. |
| APA | 朱美萍,易葵,郭世海,范正修,&邵建达.(2006).膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响.光学学报,26(7),1107. |
| MLA | 朱美萍,et al."膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响".光学学报 26.7(2006):1107. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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