斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 沈自才 ; 孔伟金 ; 刘世杰 ; 沈建 ; 邵建达 ; 范正修 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 55期号:10页码:5157 |
| 关键词 | 斜角入射沉积 渐变折射率 填充系数 glancing angle deposition graded index packing factor |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| 其他题名 | Refractive index analysis of graded index coatings prepared by glancing angle deposition |
| 中文摘要 | 斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法，它可以用来制备渐变折射率薄膜．本文首先探讨了膜料的沉积入射角为α，薄膜柱状生长倾斜角为β时的薄膜的填充系数；之后利用drude理论，分析研究了斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率与薄膜的入射角和生长方向的关系．; Glancing angle deposition is a novel method for the preparation of coatings, it can be used to prepare graded index coatings. In this paper, the packing factor of the coatings prepared by glancing angle deposition is analyzed under the conditions that the flux arrival angle of coating material is a and the columnar microstructure inclination angle of coatings is beta. And then the relation between the refractive index of the coatings, the flux arrival angle and the columnar inclination angle is discussed based on Drude theory. |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 分类号 | TQ171.734 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4334]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈自才,孔伟金,刘世杰,等. 斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析[J]. 物理学报,2006,55(10):5157, 5160. |
| APA | 沈自才,孔伟金,刘世杰,沈建,邵建达,&范正修.(2006).斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析.物理学报,55(10),5157. |
| MLA | 沈自才,et al."斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析".物理学报 55.10(2006):5157. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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