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真空镀膜中基底预应力的有限元分析

文献类型:期刊论文

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作者孙荣阁 ; 易葵 ; 范正修
刊名中国激光
出版日期2006
卷号33期号:7页码:963
关键词薄膜 应力 有限元 自重变形 温度梯度 热应力
ISSN号0258-7025
其他题名Finite element analysis for substrate's initial stress in vacuum deposition
中文摘要真空镀膜过程中,基底因支撑、温度梯度造成的应变会对最终的薄膜一基底系统的面形产生影响。用有限元方法对不同支撑方式下不同尺寸基底的预应力以及烘烤过程中基底内部温度梯度造成的热应力进行了分析和计算,得到基底表面变形的峰谷值,并给出了不同工况下基底形变的等值线图。对于尺寸超过200mm的基底,自重变形量和热应力变形量比较大,是影响最终薄膜面形的重要因素;装夹时随着基底倾角的增大,基底的形变与应力呈减小趋势;同样结构尺寸情况下,熔融石英基底的自重变形量略大于BK7基底,热变形量远小于BK7基底;热应力对基底预应力
学科主题光学薄膜
分类号O484
收录类别ei
语种中文
公开日期2009-09-22
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4336]  
专题上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
孙荣阁,易葵,范正修. 真空镀膜中基底预应力的有限元分析, Finite element analysis for substrate's initial stress in vacuum deposition[J]. 中国激光,2006,33(7):963, 967.
APA 孙荣阁,易葵,&范正修.(2006).真空镀膜中基底预应力的有限元分析.中国激光,33(7),963.
MLA 孙荣阁,et al."真空镀膜中基底预应力的有限元分析".中国激光 33.7(2006):963.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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