周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
文献类型:期刊论文
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作者 | 秦俊岭 ; 易葵 ; 邵建达 ; 范正修 |
刊名 | 光子学报
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出版日期 | 2006 |
卷号 | 35期号:8页码:1191 |
关键词 | 余弦模型 梯度折射率 多层膜 软X射线反射率 |
ISSN号 | 1004-4213 |
其他题名 | Soft X-ray reflectivity of periodic graded-index multilayers |
中文摘要 | 由于界面互扩散的存在,实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构,假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构,用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率,结果证明,折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清晰的界面,但它同样具有很高的反射率。 |
学科主题 | 光学薄膜 |
分类号 | O484.5 |
收录类别 | ei |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2009-09-22 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4342] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦俊岭,易葵,邵建达,等. 周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率, Soft X-ray reflectivity of periodic graded-index multilayers[J]. 光子学报,2006,35(8):1191, 1193. |
APA | 秦俊岭,易葵,邵建达,&范正修.(2006).周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率.光子学报,35(8),1191. |
MLA | 秦俊岭,et al."周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率".光子学报 35.8(2006):1191. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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