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周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率

文献类型:期刊论文

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作者秦俊岭 ; 易葵 ; 邵建达 ; 范正修
刊名光子学报
出版日期2006
卷号35期号:8页码:1191
关键词余弦模型 梯度折射率 多层膜 软X射线反射率
ISSN号1004-4213
其他题名Soft X-ray reflectivity of periodic graded-index multilayers
中文摘要由于界面互扩散的存在,实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构,假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构,用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率,结果证明,折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清晰的界面,但它同样具有很高的反射率。
学科主题光学薄膜
分类号O484.5
收录类别ei
语种中文
公开日期2009-09-22
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4342]  
专题上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
秦俊岭,易葵,邵建达,等. 周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率, Soft X-ray reflectivity of periodic graded-index multilayers[J]. 光子学报,2006,35(8):1191, 1193.
APA 秦俊岭,易葵,邵建达,&范正修.(2006).周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率.光子学报,35(8),1191.
MLA 秦俊岭,et al."周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率".光子学报 35.8(2006):1191.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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