离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 范平 ; 邵建达 ; 易葵 ; 齐红基 ; 范正修 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 26期号:6页码:943 |
| 关键词 | 薄膜光学 光学常数 铜膜 离子束溅射 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 中文摘要 | 利用Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度Cu膜测定的反射率和透射率，运用哈德雷方程，并考虑基片后表面的影响，对离子束溅射沉积的Cu膜光学常数进行了计算。结果表明，在同一波长情况下，膜厚小于100nm的纳米Cu膜光学常数随膜厚变化明显；膜厚大于100nm后，Cu膜的光学常数趋于一定值。Cu膜不连续时的光学常数与连续膜时的光学常数随波长变化规律不同；不同厚度的连续膜的光学常数随波长变化规律相同，但大小随膜厚变化而变化。 |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 分类号 | O484.4 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4396]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范平,邵建达,易葵,等. 离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究[J]. 光学学报,2006,26(6):943, 947. |
| APA | 范平,邵建达,易葵,齐红基,&范正修.(2006).离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究.光学学报,26(6),943. |
| MLA | 范平,et al."离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究".光学学报 26.6(2006):943. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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