Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 范平 ; 邵建达 ; 易葵 ; 齐红基 ; 范正修 |
| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 35期号:10页码:1542 |
| 关键词 | 薄膜物理学 光学特性 尺寸效应 Cu膜 最小连续膜厚 |
| ISSN号 | 1004-4213 |
| 中文摘要 | 采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜，利用Lambda-900分光光度计，测量了波长为310nm到1300nm范围内Cu膜的反射率和透射率．选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚变化的关系进行研究．同时，对Cu膜的光学常量也进行了讨论．结果显示，Cu膜的光学特性都有明显的尺寸效应．将波长为550nm时的反射率和透射率随Cu膜厚度变化关系的交点对应厚度作为特征厚度，该厚度可认为是金属Cu膜生长从不连续膜进入连续膜的 |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 分类号 | O484.4 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4410]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范平,邵建达,易葵,等. Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究[J]. 光子学报,2006,35(10):1542, 1546. |
| APA | 范平,邵建达,易葵,齐红基,&范正修.(2006).Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究.光子学报,35(10),1542. |
| MLA | 范平,et al."Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究".光子学报 35.10(2006):1542. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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