石英晶体监控膜厚仪的发展与应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 占美琼 ; 谭天亚 ; 贺洪波 ; 邵建达 ; 范正修 |
| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 42期号:2页码:57 |
| 关键词 | 石英晶体 晶振 光学薄膜 工作波段 膜厚 监控 直接 可控 振荡 稳定性 quartz crystal oscillation thickness of optical coatings principle |
| ISSN号 | 1006-4125 |
| 其他题名 | Development and Application of Monitoring Thickness of Optical Coatings by Quartz Crystal Oscillation |
| 中文摘要 | 石英晶体振荡监控光学薄膜厚度是直接监控光学薄膜物理厚度的方法，与工作波段无关，设置简单，各种厚度皆可控制．易于实现自动控制，将会越来越广泛地应用在光学薄膜厚度监控中。本文首先介绍了石英晶体监控膜厚仪监控光学薄膜厚度的原理，然后讨论了石英晶体监控仪的发展和晶振片的稳定性。; Quartz crystal oscillation method is a dynamic method to monitor the thickness of optical coatings. It has many advantages, such as monitoring physical thickness, simple setting, easy auto- control, etc., so it is more and more widely used in monitoring the optical coatings. The principle of coating thickness monitoring by quartz crystal oscillation is described. The development and the stabilization of quartz crystal monitoring are introduced. |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 分类号 | TN752;O484 |
| 收录类别 | 0 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4426]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 占美琼,谭天亚,贺洪波,等. 石英晶体监控膜厚仪的发展与应用[J]. 激光与光电子学进展,2005,42(2):57, 59,11. |
| APA | 占美琼,谭天亚,贺洪波,邵建达,&范正修.(2005).石英晶体监控膜厚仪的发展与应用.激光与光电子学进展,42(2),57. |
| MLA | 占美琼,et al."石英晶体监控膜厚仪的发展与应用".激光与光电子学进展 42.2(2005):57. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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