梯形介质膜光栅衍射特性分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孔伟金 ; 云茂金 ; 崔春玲 ; 晋云霞 ; 邵建达 ; 范正修 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 28期号:7页码:1415 |
| 关键词 | 光学薄膜 多层介质膜光栅 严格耦合波理论 衍射效率 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 其他题名 | Diffraction Property of Multi-Layer Dielectric Grating with Trapezium Groove |
| 中文摘要 | 基于严格耦合波理论建立了梯形介质膜光栅的衍射机理模型,利用该模型讨论了底角为70°的梯形介质膜光栅-1级的衍射行为。通过对梯形介质膜光栅的占空比、槽深和剩余厚度的优化,设计了应用于1053 nm和51.2°角度入射的梯形介质膜光栅。对于顶层为HfO2的介质膜光栅,当槽深为200 nm,剩余厚度为100 nm,占空比为0.35时,其衍射效率优于99.5%,而对于顶层为SiO2的梯形光栅,为获得99.5%的衍射效率,其槽深为800 nm,剩余厚度为320 nm。而且,获得同样的衍射效率,顶层为HfO2的梯形光栅具有更宽的光谱特性。数值计算表明,严格耦合波理论模型对梯形介质膜光栅衍射效率的计算具有很好的收敛性和稳定性。 |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4694]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孔伟金,云茂金,崔春玲,等. 梯形介质膜光栅衍射特性分析[J]. 光学学报,2008,28(7):1415, 1419. |
| APA | 孔伟金,云茂金,崔春玲,晋云霞,邵建达,&范正修.(2008).梯形介质膜光栅衍射特性分析.光学学报,28(7),1415. |
| MLA | 孔伟金,et al."梯形介质膜光栅衍射特性分析".光学学报 28.7(2008):1415. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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