倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 肖秀娣 ; 董国平 ; 余华 ; 范正修 ; 贺洪波 ; 邵建达 |
| 刊名 | 稀有金属材料与工程
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 37期号:8页码:1317 |
| 关键词 | 倾斜沉积 glancing angle deposition 雕塑薄膜 sculptured thin film (STF) 各向异性 anisotropy |
| ISSN号 | 1002-185X |
| 其他题名 | Study progress on sculptured thin films by glancing angle deposition |
| 中文摘要 | 倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术。通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状的雕塑薄膜。雕塑薄膜可以实现许多传统薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的结构特征及影响因素,并阐述了其在光学领域的广泛应用前景。; Glancing angle deposition is a new technology for thin film preparation. The sculptured thin film (STF) with a variety of shape, such as oblique nanocolumns, zigzag, helix, S-shape, C-shape, and so on can be prepared by substrate rotating and sloping into glancing angle during process. The sculptured thin film with extraordinary optical properties provides a new direction for film design and preparation compared with traditional films. In this paper, the preparation method for sculptured thin film was summarized, the microstructure and preparation parameters of STF analyzed, also its potential application in optical field described. Key |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 分类号 | O484 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4698]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖秀娣,董国平,余华,等. 倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展, Study progress on sculptured thin films by glancing angle deposition[J]. 稀有金属材料与工程,2008,37(8):1317, 1322. |
| APA | 肖秀娣,董国平,余华,范正修,贺洪波,&邵建达.(2008).倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展.稀有金属材料与工程,37(8),1317. |
| MLA | 肖秀娣,et al."倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展".稀有金属材料与工程 37.8(2008):1317. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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