三种不同后处理方式对ZrO_2薄膜性能的影响
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 王聪娟 ; 晋云霞 ; 邵建达 ; 范正修 |
| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 35期号:10页码:1600 |
| 关键词 | 薄膜 Damage thresholds 氧化锆 Electron beam evaporations 抗激光损伤阈值 Pretreatment 退火 Single layers 激光预处理 Treatment methods 离子后处理 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 其他题名 | Influence of three post-treatment methods on properties of ZrO |
| 中文摘要 | 采用有氧热处理、激光预处理和离子后处理三种方式对电子束蒸发(EBE)制备的单层ZrO_2薄膜进行了后处理,并分别对样品的光学性能和抗激光损伤阈值(LIDT)特性进行了研究。实验结果表明,热处理方式可以有效排除膜层内吸附的水气,弥补薄膜制备过程中的氧损失,使得光谱短移、吸收减小、损伤阈值增高;激光预处理过程可以在一定程度上减少缺陷、提高损伤阈值,但对膜层的光谱和吸收情况没有明显的改善作用;而离子后处理能够提高膜层的堆积密度、减少缺陷、降低吸收从而提高损伤阈值。由于三种方式处理机制不同,在实际应用中应根据膜层的性能选择合适的处理方式。; Heat treatment with oxygen, laser conditioning and ion post-treatment were post processed respectively on ZrO |
| 学科主题 | 光学薄膜 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-22 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4720]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
王聪娟,晋云霞,邵建达,等. 三种不同后处理方式对ZrO_2薄膜性能的影响, Influence of three post-treatment methods on properties of ZrO |
| APA | 王聪娟,晋云霞,邵建达,&范正修.(2008).三种不同后处理方式对ZrO_2薄膜性能的影响.中国激光,35(10),1600. |
| MLA | 王聪娟,et al."三种不同后处理方式对ZrO_2薄膜性能的影响".中国激光 35.10(2008):1600. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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