Optical properties and microstructure of Ta2O5 thin films prepared by oblique angle deposition
文献类型：期刊论文
| 作者 | Xiudi Xiao（肖秀娣） ; Guoping Dong ; Hongbo He ; Hongji Qi ; Zhengxiu Fan ; and Jianda Shao |
| 刊名 | chinese optics letters
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| 出版日期 | 2009-10-10 |
| 卷号 | 7期号:10 |
| 合作状况 | 其它 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| WOS记录号 | WOS:000271183700027 |
| 公开日期 | 2010-04-23 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6559]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xiudi Xiao,Guoping Dong,Hongbo He,et al. Optical properties and microstructure of Ta2O5 thin films prepared by oblique angle deposition[J]. chinese optics letters,2009,7(10). |
| APA | Xiudi Xiao,Guoping Dong,Hongbo He,Hongji Qi,Zhengxiu Fan,&and Jianda Shao.(2009).Optical properties and microstructure of Ta2O5 thin films prepared by oblique angle deposition.chinese optics letters,7(10). |
| MLA | Xiudi Xiao,et al."Optical properties and microstructure of Ta2O5 thin films prepared by oblique angle deposition".chinese optics letters 7.10(2009). |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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