Effect of amorphous C films deposited by RF magnetron sputtering on smoothing
文献类型：期刊论文
| 作者 | Songwen Deng ; Hongji Qi ; Chaoyang Wei ; Kui Yi ; Zhengxiu Fan ; Jianda Shao |
| 刊名 | applied surface science
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 256页码:1492-1495 |
| 合作状况 | 其它 |
| 学科主题 | 其他 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-04-28 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6656]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Songwen Deng,Hongji Qi,Chaoyang Wei,et al. Effect of amorphous C films deposited by RF magnetron sputtering on smoothing[J]. applied surface science,2009(256):1492-1495. |
| APA | Songwen Deng,Hongji Qi,Chaoyang Wei,Kui Yi,Zhengxiu Fan,&Jianda Shao.(2009).Effect of amorphous C films deposited by RF magnetron sputtering on smoothing.applied surface science(256),1492-1495. |
| MLA | Songwen Deng,et al."Effect of amorphous C films deposited by RF magnetron sputtering on smoothing".applied surface science .256(2009):1492-1495. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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