Trefoil aberration measurement of lithographic projection optics based on linewidth asymmetry of the aerial image
文献类型：期刊论文
| 作者 | Yuan QY(袁琼雁) ; Wang XZ(王向朝) ; Qiu ZC(邱自成) |
| 刊名 | optik
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 121期号:19页码:1739-1742 |
| 合作状况 | 其它 |
| 学科主题 | 光学 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| WOS记录号 | WOS:000282804700005 |
| 公开日期 | 2011-03-31 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/7088]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Yuan QY,Wang XZ,Qiu ZC. Trefoil aberration measurement of lithographic projection optics based on linewidth asymmetry of the aerial image[J]. optik,2010,121(19):1739-1742. |
| APA | Yuan QY,Wang XZ,&Qiu ZC.(2010).Trefoil aberration measurement of lithographic projection optics based on linewidth asymmetry of the aerial image.optik,121(19),1739-1742. |
| MLA | Yuan QY,et al."Trefoil aberration measurement of lithographic projection optics based on linewidth asymmetry of the aerial image".optik 121.19(2010):1739-1742. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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