应用于压电变形镜的压电陶瓷驱动器技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 何雨晴
|
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2017-05-19 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 杜云飞 ; 赵惠 |
| 关键词 | 压电变形镜 压电陶瓷驱动器 preisach模型 PID控制算法 |
| 学科主题 | 电子、通信与自动控制技术 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/28975]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_研究生部 |
| 作者单位 | 中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何雨晴. 应用于压电变形镜的压电陶瓷驱动器技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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