Experimental study of 248nm excimer laser etching of alumina
文献类型：会议论文
| 作者 | Hongtao Hu1,2; Jingzhen Shao1; Xi Wang1,3; Xiaodong Fang1,2 |
| 出版日期 | 2016 |
| 会议名称 | conference on advanced laser manufacturing technology |
| 会议日期 | 2016 |
| 会议地点 | beijing, peoples r china |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/21518]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院安徽光学精密机械研究所 |
| 作者单位 | 1.Chinese Acad Sci, Anhui Inst Opt & Fine Mech, Anhui Prov Key Lab Photon Devices & Mat, Hefei 230031, Peoples R China 2.Univ Sci & Technol China, Sch Environm Sci & Optoelect Technol, Hefei 230026, Peoples R China 3.State Key Lab Pulsed Power Laser Technol, Hefei 230037, Peoples R China |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Hongtao Hu,Jingzhen Shao,Xi Wang,et al. Experimental study of 248nm excimer laser etching of alumina[C]. 见:conference on advanced laser manufacturing technology. beijing, peoples r china. 2016. |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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