基于微电子机械系统技术的红外光源及制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 高晓光 ; 李建平 ; 何秀丽 |
| 发表日期 | 2010-12-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明基于微电子机械系统技术的红外光源及制备方法，属于红外技术领域，具体而言是一种基于微电子机械系统技术的红外光源及制备方法。该红外光源芯片包括框架、加热电极、电极的压焊块和红外辐射膜；在框架上表面固接支撑膜，支撑膜上表面固接加热电极，电极两侧有电极压焊块；支撑膜和电极的上表面，覆有一层钝化膜；电极压焊块凸露于钝化膜的外表面；在钝化膜的外表面正中部位，固接红外辐射膜。芯片还包括测温电极和红外反射镜。其制备方法是：第一步，制备红外发光部分；第二步，制备红外反射镜；第三步，将两部分键合到一起。本发明功耗低、调 |
| 公开日期 | 2006-03-08 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2004-09-01 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200410073801.7 |
| 专利代理 | 周国城 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/5295]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高晓光,李建平,何秀丽 . 基于微电子机械系统技术的红外光源及制备方法. 2010-12-24. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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