一种微机械电容式风速风向传感器
文献类型：专利
| 作者 | 赵 湛 ; 韩有君 ; 杜利东 ; 方 震 |
| 发表日期 | 2010-12-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 一种微机械电容式风速风向传感器，涉及传感技术，包括衬底、阻流体、敏感梁、固定叉指、可动叉指、支撑体和引出电极。阻流体是被风吹动的敏感结构；固定叉指和可动叉指构成四组相互正交的电容器，用作测量结构；固定叉指支撑体提供固定叉指和引出电极的电连接并为固定叉指提供支撑，可动叉指支撑体提供可动叉指和引出电极的电连接，并为阻流体、敏感梁和可动叉指提供支撑，衬底为整个传感器的支撑结构。风力作用阻流体使敏感梁弯曲形变，使固定叉指和可动叉指相对面积变化，引起电容器电容改变，测量四组电容器输出电容的变化值可检测风速和风向。本 |
| 公开日期 | 2010-02-24 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2008-08-20 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200810118731.0 |
| 专利代理 | 周国城 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/5429]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵 湛,韩有君,杜利东,等. 一种微机械电容式风速风向传感器. 2010-12-24. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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