固支硅梁动态特性理论、测试及应用研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 张洮 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1999-07-14 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院电子学研究所 |
| 导师 | 崔大付 |
| 关键词 | 硅梁动态特性 谐振式真空计 真空度自动控制 动态参数测试系统 |
| 学位专业 | 物理电子学与光电子学 |
| 中文摘要 | 本文详细分析了微小硅梁一阶横向振动的动态特性，从考虑轴向压力和粘性阻尼的两端固支梁的振动方程出发，得出梁的振动与时间的关系服从考虑弹性恢复力三阶小量γq~3（γ > 0，梁表现出硬弹簧特性）的达芬方程。首次提出一种基于硅梁非线性振动的谐振式真空计，这种真空计具有真空度测量范围宽和易于用于高真空的高精度测量等优点。实验给出了硅梁线性振动和非线性振动的频域曲线及与热应力的关系的测试结果。本文研究了微力学结构动态参数测试系统。实现对真空度的自动控制，基于锁相放大技术设计了微力学结构动态参数测试系统，（1）高稳定度的正弦激励信号源，频率范围20KHz-60KHz（通过改变定时电容，频率范围可达到300 KHz），用精密频率计观察，频率漂移小于3Hz。通过调节电位器可调节激励信号幅值。程序控制在整个频率范围内自动扫描。（2）在整个频率范围内为参考通道成功地提供一对正交的幅度可调的正弦参考信号，通过比较器给出斩波信号控制CD4066实现了低漂移的斩波相乘。（3）单片机模块实现了对仪器的控制和与微机正常通信，数模转换稳定度达到mV量级。串行口传输可达62.5K。用该系统测试了一硅梁，发现了谐振峰。系统信噪比还需进一步改进。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 54 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/8935]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张洮. 固支硅梁动态特性理论、测试及应用研究[D]. 中国科学院电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 1999. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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