基于氧化锌薄膜体声波谐振器的传感器及系统研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 张萌颖 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2017-05-25 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 赵湛 |
| 关键词 | 薄膜体声波谐振器+增敏设计+温度控制+气体传感器+压力传感器 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 传感器 |
| 公开日期 | 2017-06-07 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/10948]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张萌颖. 基于氧化锌薄膜体声波谐振器的传感器及系统研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。