高性能MEMS电化学地震检波器设计与制作
文献类型：学位论文
| 作者 | 孙振源 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2017-05-27 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 陈德勇 |
| 关键词 | 地震检波器 电化学 微机电系统 宽频带 低噪声 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 传感器 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2017-06-07 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/10962]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙振源. 高性能MEMS电化学地震检波器设计与制作[D]. 北京. 中国科学院大学. 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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