一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材及应用
文献类型:专利
作者 | 孙超、常正凯、肖金泉、宫骏 |
发表日期 | 2015-01-07 |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 孙超、常正凯、肖金泉、宫骏 |
公开日期 | 2015-01-07 |
申请日期 | 2013-01-10 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 2013 10009959.7 |
源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/76626] |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙超、常正凯、肖金泉、宫骏. 一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材及应用. 2015-01-07. |
入库方式: OAI收割
来源:金属研究所
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