气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置
文献类型：专利
| 作者 | 姜辛、刘鲁生、史丹、贾文博、黄楠、刘宝丹 |
| 发表日期 | 2015-12-23 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 姜辛、刘鲁生、史丹、贾文博、黄楠、刘宝丹 |
| 公开日期 | 2015-12-23 |
| 申请日期 | 2015-07-07 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 2015 20489578.8 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/76731]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜辛、刘鲁生、史丹、贾文博、黄楠、刘宝丹. 气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置. 2015-12-23. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。