一种磁控电弧离子镀复合沉积工艺和沉积装置
文献类型：专利
| 作者 | 赵彦辉、肖金泉、于宝海、华伟刚、宫骏、孙超 |
| 发表日期 | 2016-01-13 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 赵彦辉、肖金泉、于宝海、华伟刚、宫骏、孙超 |
| 中文摘要 | 一种磁控电弧离子镀复合沉积工艺和沉积装置 |
| 公开日期 | 2016-01-13 |
| 申请日期 | 2013-10-22 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 201310506605.3 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/78703]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵彦辉、肖金泉、于宝海、华伟刚、宫骏、孙超. 一种磁控电弧离子镀复合沉积工艺和沉积装置. 2016-01-13. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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