光学非球面面形非零位检测的回程误差校正
文献类型：期刊论文
| 作者 | 师途; 臧仲明; 刘东; 杨甬英; 种诗尧; 张磊; 白剑; 沈亦兵; 苗亮 ; 黄玮
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2016 |
| 期号 | 8页码:155-165 |
| 关键词 | 测量 干涉 非球面检测 非零位 回程误差 校正方法 |
| 中文摘要 | 光学非球面面形的非零位检测较零位检测而言具有更强的通用性。详细分析了非球面非零位检测中回程误差的产生机理,结合校正方法将其分为可预知回程误差和不可预知回程误差两部分,分析其对最终检测结果的影响。然后介绍了实际检测中常用的回程误差校正方法的原理,通过仿真实验对比各种方法对不同非球面度、不同面形误差大小的被测非球面的校正效果,并结合方法原理和仿真结果分析了不同方法的回程误差校正能力,总结其适用范围。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57585]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 师途,臧仲明,刘东,等. 光学非球面面形非零位检测的回程误差校正[J]. 光学学报,2016(8):155-165. |
| APA | 师途.,臧仲明.,刘东.,杨甬英.,种诗尧.,...&黄玮.(2016).光学非球面面形非零位检测的回程误差校正.光学学报(8),155-165. |
| MLA | 师途,et al."光学非球面面形非零位检测的回程误差校正".光学学报 .8(2016):155-165. |
入库方式： OAI收割
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