真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能
文献类型:期刊论文
作者 | 董斌超![]() ![]() |
出版日期 | 2016-10-11 |
关键词 | SiC 注浆工艺 光学加工 抗弯强度 定向排列 表面粗糙度 热膨胀系数 流变性 面形误差 断裂韧性 |
中文摘要 | 在常规凝胶注模工艺的基础上,借鉴国外真空辅助注浆工艺,采用真空辅助凝胶注模法制备出超轻量化SiC反射镜。研究了浆料流变性,注浆气压、浆料中气泡等对坯体填充模具效果的影响。发现较小的浆料粘度有利于浆料填充模具;浆料中残存的气泡在真空环境中膨胀,引起浆料填充不完,导致坯体产生缺陷;注浆真空度过小会导致浆料中的有机物沸腾,产生气泡,进而导致导致镜坯出现缺陷。材料中细小SiC颗粒的存在使材料具有相对较高的抗弯强度(335MPa)和断裂韧性(4.5 MPa·m~(1/2));反射镜材料金相组织中未出现明显的SiC颗粒定向排列,具有较好的各向同性度:浆料流动方与其垂直方向热膨胀系数差异小于3%,模量差异为1.3%;镜坯经过光学加工后面形误差(RMS值)为0.043λ(λ=632.8nm),表面粗糙度(Ra值)优于5nm。 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57607] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 董斌超,张舸. 真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能[J],2016. |
APA | 董斌超,&张舸.(2016).真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能.. |
MLA | 董斌超,et al."真空辅助凝胶注模法制备超轻量化SiC反射镜及其性能".(2016). |
入库方式: OAI收割
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