大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究
文献类型:期刊论文
作者 | 刘力; 陈新东; 熊玲; 张峰; 薛栋林 |
刊名 | 中国激光 |
出版日期 | 2016 |
期号 | 11页码:160-170 |
关键词 | 光学设计 激光跟踪仪 角度误差补偿 大口径非球面镜 多项式拟合 |
中文摘要 | 为了满足大口径反射镜研磨阶段的面形检测需求,分析了激光跟踪仪测角误差的来源,提出了一种基于S多项式拟合的矫正测角误差的方法,该矫正方法能有效克服采样位置误差和随机误差带来的影响。针对不同频段测角误差,提出母线和米字格采样法,其中母线采样法对10%以内的标定实验随机误差有较好的抑制作用。矫正方法的可行性得以验证,从而为进一步实验提供了理论基础。 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57743] |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘力,陈新东,熊玲,等. 大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究[J]. 中国激光,2016(11):160-170. |
APA | 刘力,陈新东,熊玲,张峰,&薛栋林.(2016).大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究.中国激光(11),160-170. |
MLA | 刘力,et al."大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究".中国激光 .11(2016):160-170. |
入库方式: OAI收割
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