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大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究

文献类型:期刊论文

作者刘力; 陈新东; 熊玲; 张峰; 薛栋林
刊名中国激光
出版日期2016
期号11页码:160-170
关键词光学设计 激光跟踪仪 角度误差补偿 大口径非球面镜 多项式拟合
中文摘要为了满足大口径反射镜研磨阶段的面形检测需求,分析了激光跟踪仪测角误差的来源,提出了一种基于S多项式拟合的矫正测角误差的方法,该矫正方法能有效克服采样位置误差和随机误差带来的影响。针对不同频段测角误差,提出母线和米字格采样法,其中母线采样法对10%以内的标定实验随机误差有较好的抑制作用。矫正方法的可行性得以验证,从而为进一步实验提供了理论基础。
语种中文
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57743]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
刘力,陈新东,熊玲,等. 大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究[J]. 中国激光,2016(11):160-170.
APA 刘力,陈新东,熊玲,张峰,&薛栋林.(2016).大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究.中国激光(11),160-170.
MLA 刘力,et al."大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究".中国激光 .11(2016):160-170.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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