分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王亚斌; 刘忠 ; 李武; 董亚萍; 黄玉东
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| 刊名 | 功能材料
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| 出版日期 | 2016 |
| 期号 | 9页码:9027-9030 |
| 关键词 | 分子纳米层 扩散阻挡层 粘接层 铜固定化 |
| 中文摘要 | 国内对分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究,以及对分子纳米层性能测试的仪器和方法比较欠缺。因此,本文介绍了表征有机分子纳米层作为铜扩散阻挡层的测试方法,包括热性能测试,电学性能测试,粘接性能测试,形貌测试和分子模拟。重点介绍了粘接性能测试的方法和原理,并分析了由此技术带来的新研究方向。 |
| 关键词[WOS] | 分子纳米层 ; 扩散阻挡层 ; 粘接层 ; 铜固定化 |
| 原文出处 | CJFD2016 |
| 源URL | [http://ir.isl.ac.cn/handle/363002/4136]  |
| 专题 | 中国科学院青海盐湖研究所 青海盐湖研究所_盐湖资源综合利用工程技术中心 青海盐湖研究所_盐湖资源与化学实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王亚斌,刘忠,李武,等. 分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段[J]. 功能材料,2016(9):9027-9030. |
| APA | 王亚斌,刘忠,李武,董亚萍,&黄玉东.(2016).分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段.功能材料(9),9027-9030. |
| MLA | 王亚斌,et al."分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段".功能材料 .9(2016):9027-9030. |
入库方式： OAI收割
来源：青海盐湖研究所
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