Soft lithography and its application
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang Zhe,Xing Rubo,Han Yanchun*,Li Binyao |
| 刊名 | huaxue tongbao (chemistry)
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 9页码:606-613 |
| 关键词 | 软刻蚀、微米加工、纳米加工、图案化、弹性模板 |
| ISSN号 | 0441-3776 |
| 中文摘要 | 软刻蚀是一类基于自组装和复制模塑等原理的非光刻微米和纳米加工方法。 |
| 收录类别 | CSCD收录国内期刊论文 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-09-13 ; 2011-06-09 |
| 源URL | [http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/17435]  |
| 专题 | 长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang Zhe,Xing Rubo,Han Yanchun*,Li Binyao. Soft lithography and its application[J]. huaxue tongbao (chemistry),2002(9):606-613. |
| APA | Wang Zhe,Xing Rubo,Han Yanchun*,Li Binyao.(2002).Soft lithography and its application.huaxue tongbao (chemistry)(9),606-613. |
| MLA | Wang Zhe,Xing Rubo,Han Yanchun*,Li Binyao."Soft lithography and its application".huaxue tongbao (chemistry) .9(2002):606-613. |
入库方式： OAI收割
来源：长春应用化学研究所
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