基于改进的全内反射显微技术检测玻璃亚表面缺陷
文献类型：会议论文
| 作者 | 倪开灶; 刘世杰 |
| 出版日期 | 2016 |
| 中文摘要 | 光学元件亚表面缺陷是限制其激光损伤阈值的主要因素之一。因此,对亚表面缺陷进行准确检测和去除是提升光学元件损伤特性的重要手段。全内反射显微技术是一种无损的,易于实现的亚表面缺陷检测技术。但是,现有的全内反射显微检测技术只能定性或半定量地表征亚表面缺陷。本文利用一种改进的全内反射显微技术检测玻璃元件亚表面缺陷。在传统的全内 |
| 会议录 | 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27416]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 倪开灶,刘世杰. 基于改进的全内反射显微技术检测玻璃亚表面缺陷[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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