基于斜入射方法的面形绝对检测技术研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 白云波; 刘世杰; 周游; 邵建达 |
| 出版日期 | 2016 |
| 中文摘要 | 高功率激光装置对输出总能量以及光斑精准性要求使光学元器件向极致化方向发展,更高精度检测技术研究也要先行发展。随着大口径光学元件波面误差加工质量的不断提高,现有检测方法的精度已接近元件的加工精度,特别对于大口径干涉仪相对检测方法而言,干涉仪自身标准镜引入的系统误差不能再忽略,需要研究更高精度的方法来标定和消除。国内外的研究人员已提出了大口径平面干涉仪标准镜的绝对检测 |
| 会议录 | 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27417]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 白云波,刘世杰,周游,等. 基于斜入射方法的面形绝对检测技术研究[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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