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基于SLM的非球面检测方法的补偿波面精度分析

文献类型:会议论文

作者王微微; 张志刚; 刘世杰; 马啸; 周游; 白云波; 王圣浩; 倪开灶
出版日期2016
中文摘要计算全息(CGH)法是一种高精度非球面检测方法,采用计算全息板生成待测非球面的补偿波面,实现零位检测。然而,CGH板制作成本高,检测元件不具有通用性,使得这种方法的检测成本很高。空间光调制器(SLM)可以在随时间变化的电驱动信号或者其他信号的控制下,改变空间上光分布的振幅、相位、偏振态等信息,是CGH板的可替代产品。
会议录第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
语种中文
源URL[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27420]  
专题上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室
作者单位中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王微微,张志刚,刘世杰,等. 基于SLM的非球面检测方法的补偿波面精度分析[C]. 见:.

入库方式: OAI收割

来源:上海光学精密机械研究所

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